四探针法测试半导体薄膜材料电导率性质

材料分类：

目前我们比较熟悉的薄膜半导体材料主要有以下这些：根据材料本身的用途和性质划分

覆盖膜;导电高分子膜，高、低温电热膜;

隔热、防辐射导电窗膜 导电(屏蔽)布、装饰膜、装饰纸;

金属化标签、合金类箔膜;熔炼、烧结、溅射、涂覆、涂布层，电阻式、电容式触屏薄膜; 

导电薄膜（ITO导电膜玻璃等），金属膜，导电漆膜，蒸发铝膜，PCB铜箔膜，EMI涂层等物质的薄层

材料特点：

靠电子和空穴两种载流子实现导电，室温时电阻率一般在10-5～107欧·米之间。通常电阻率随温度升高而增大；若掺入活性杂质或用光、射线辐照，可使其电阻率有几个数量级的变化

半导体材料的导电性对外界条件（如热、光、电、磁等因素）的变化非常敏感，据此可以制造各种敏感元件，用于信息转换。半导体材料的特性参数有禁带宽度、电阻率、载流子迁移率、非平衡载流子寿命和位错密度.

测试方法：

目前一般采用4探针法来测薄膜材料的电导率性质，这是目前国际同行比较认可且成熟的测试方法；

与传统的四端法相比，四探针法解决了测试过程中存在的接触电阻问题，也就是说，四根探针同时接触于样品表面对样品进行电流和电压激励测试；消除接触电阻，是一种进步的测试方法，应用于半导体行业比较多.

四探针法能很好描述薄膜材料的导电性质变化趋势，测试方法如下：

1.将仪器开启，并用标准电阻法校准仪器，确定仪器是否正常.

2.设定好薄膜的厚度，探针间距、电压根据需要选择高，中，低档位；选择探头形状；方形还是直线形探针.

3.确定好后，连接好测试探头，通过上下微调节探头平台，使探针与样品接触，

4.待数据稳定后读取数据，方阻值，电阻率，电导率数据.

5.测试完毕后，清理并整理仪器恢复开启前状态.

6.下图FT-341  四探针测试仪结构说明，

配合PC软件分析数据